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    激光尺

    • 01 LE系列激光尺

      LE系列激光尺采用激光干涉测量技术,以高稳定度的激光波长为基准,实现高精度、高分辨率的直线位移测量;
      LE系列激光尺采用先进的热控制稳频技术将激光稳频精度保持在±0.05ppm。精确稳定的激光源和精准的环境补偿,保证±0.5um/m的测量精度;
      LE系列激光尺可以实现长达20m的精确测量,在长距离测量应用上有突出的优势;最高4m/s的测量速度,可满足几乎所有的测量应用;测量分辨率可配置,最高为1nm。

     
    • 02 应用案例及领域

      科德数控股份有限公司生产的KGHM2560U高速桥式龙门机床,X轴全行程6m,配置LE系列激光尺作为全闭环反馈,定位精度达到6um,重复定位精度达到3um;
      LE系列激光尺可用于精密机床、半导体精密加工设备、测量机等其他需要高精度直线位置反馈的应用场合。
     

    参数

    PARAMETER

    项目 名称 参数
    性能参数 激光频率稳定度
    线性定位精度
    分辨率
    测量速度
    测量距离
    ±0.05ppm
    ±0.5um/m(±0.5ppm)
    最高1nm 可配置
    4m/s
    20m
    工作条件 工作温度
    工作压力
    工作湿度
    0℃~40℃
    60KPa~120KPa
    0%~95% 非冷凝
    激光参数 激光波长
    激光功率
    激光稳定时间
    出射光斑直径
    632.8nm
    <1mw
    ≈10min
    6mm
    环境补偿传感器
    环境温度测量精度
    大气压力测量精度
    大气湿度测量精度
    材料温度测量精度
    ±0.1℃
    ±100Pa
    ±5%
    ±0.1℃
    电气特性
    电源电压
    电源电流
    调试接口
    位置数据反馈接口
    通用I/O接口
    24V±10%
    2.0A 最大
    USB
    RS422/RS485   串行数据:BISS_C   增量数据:TTL增量方波、1Vpp弦波
    24V带隔离通用I/O点

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